膜厚測定　アプリケーション

膜厚測定・屈折率測定・分光応用測定

分光干渉を利用した膜厚測定システムは，非接触・非破壊，簡便かつ高精度な膜厚測定，屈折率測定が可能です．様々な膜材料，多層膜など複雑な層構造，広い膜厚レンジに対応可能なことから，バリエーション豊かなアプリケーションが生まれています．また，分光測定は光物性に関する非常に多くの情報をもたらすため，膜厚・屈折率測定以外にも多彩なアプリケーションが存在します．ここでは，様々な膜厚測定アプリケーション，屈折率測定アプリケーション，そして反射率や透過率などの分光応用アプリケーションを紹介します．