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膜厚測定 製品ラインナップ
分光干渉を利用した膜厚測定システムは，非接触・非破壊，簡便かつ高精度な膜厚測定が可能です．
誘電体，半導体など様々な膜材料の測定ができ，多層膜，屈折率傾斜膜，光学異方性膜など複雑な層構造の解析が可能で，広い膜厚レンジ（シングルnm 〜 数十μm）に対応できるなど多くの特長があります．
また，膜厚測定だけではなく，所望の波長領域（真空紫外：193 nm 〜 赤外：30μm）における光学定数（屈折率：n ，消衰係数：k ）のスペクトル測定が可能です．
テクノシナジーは，お客様のニーズに最適な膜厚測定システムを提案いたします．
製品ラインナップ
光学膜厚測定システム
DF-1045R
測定反射率スペクトルから薄膜の膜厚・光学定数を簡便に測定するスタンダードな光学膜厚測定システム．SCOUT搭載．
顕微分光システム
DF-1037シリーズ
薄膜の膜厚測定に最適化された顕微分光システム．広いスペクトル測定レンジで微小領域の膜厚測定が可能．SCOUT搭載．
分光エリプソメーター
RC2 / M-2000
回転補償子型光速分光エリプソメーター．高い測定精度，広い測定波長範囲，ミュラー行列測定．あらゆる薄膜測定のニーズに対応．
光学膜厚測定システム
DF-1045RT
反射率スペクトル／透過率スペクトル測定に対応した光学膜厚測定システム．柔軟な測定レイアウトに対応．SCOUT搭載．
簡易反射ステージ
SS-Rシリーズ
高コストパフォーマンスのサンプルステージ．光源，分光器，光ファイバー等と組合せて，簡便に反射率スペクトル測定．
スペクトル解析ソフトウエア
SCOUT
薄膜サンプルの分光測定スペクトルから，膜厚，光学定数を求めるスペクトル解析ソフトウエア．柔軟でパワフルな解析が可能．
テクノシナジーの膜厚測定システム
膜厚測定 製品ラインナップ
Product
膜厚測定 アプリケーション
Application
膜厚測定 分析サービス
Service
