応用評価システム
光学膜厚測定システム DF-1030R
| DF-1030Rは，反射率スペクトル測定光学系とスペクトルフィッティング解析ソフトウエアの連携により，薄膜の光物性（膜厚，光学定数）を簡単に測定することができる分光解析システムです．小型CCD分光器の採用により，A4サイズのフットプリント，高速スペクトル測定を実現しました．スペクトル解析ソフトウエアSCOUTの搭載により，多層膜など様々な膜の解析に対応できます．
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光学膜厚測定システム DF-1042RT
| 光学膜厚測定システムDF-1042RTは，反射率測定，透過率測定を両立させたスペクトル測定光学系とスペクトルフィッティング解析ソフトウエアの連携により，薄膜の膜厚/光学定数測定が可能な分光解析システムです．小型軽量のハードウエアには2台の小型CCD分光器が搭載でき，高速に透過率/反射率スペクトルを測定することができます．高機能で柔軟性の高いスペクトル解析ソフトウエアSCOUTの搭載により，多層膜解析を始めとする様々な膜解析アプリケーションに対応可能です． |
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顕微分光システム DF-1037シリーズ
| DF-1037シリーズは，高性能な分光システムと高機能な顕微鏡システムを高い次元で融合させた顕微分光システムです．DF-1037シリーズには，新設計コールドフィルターWECFの採用による広帯域分光測定，高解像度デジタル画像撮影，スペクトル解析ソフトウエアSCOUTなど，高度なご要求にお答えする充実した機能が搭載されています．また，ニコン製顕微鏡をビルドアップしているため，顕微鏡の機能や拡張性を損なうことなく顕微分光測定を行うことができます． |
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顕微光学膜厚測定システム DF-1035MR
| DF-1035MRは，ミクロ測定/マクロ測定が行える反射率スペクトル測定光学系にパワフルなスペクトル解析ソフトウエアSCOUTが搭載された薄膜の光物性（膜厚，光学定数）測定システムです．A4サイズのマクロ測定部と顕微分光反射率測定/試料観察が可能なミクロ測定部は，光ファイバーを差し替えるだけで簡単に切り替えられます．高機能で柔軟性の高いSCOUTは，多層膜解析を始めとする様々な膜解析アプリケーションに対応します. |
光学膜厚モニター DF-1040
| 光学膜厚モニターDF-1040Rは，成膜装置から薄膜試料を取り出すことなく，膜厚/光学定数を迅速に測定することができる膜厚モニタリングシステムです．小型CCD分光器の採用により，B5サイズのフットプリント，高速スペクトル測定を実現しました．成膜装置に最適な集光光学系の設計，被測定試料に合わせた光学モデル，ご希望の測定シークエンス，アウトプット形式に対応いたします． |
偏光特性評価システム TP-1070
| TP-1070は，複数のLD光源/LED光源/分光光源を装備できる多目的の透過型偏光測定装置です．従来，複数台の高価な測定装置を用いて行っていた，偏光楕円率測定，無偏光位相差測定，偏光透過率測定，無偏光透過率測定，偏光変調測定など複数の測定モードを，ひとつの光学ワークベンチで行えるよう設計されています．TP-1070では，主要偏光光学素子が機能ブロックごとにユニット化されており，その着脱で測定モードを変更することができます．再現性の高いユニット着脱方式の採用により，高い拡張性と高信頼性を両立しました． |
