テクノ･シナジー　分光エリプソメーター

分光エリプソメーター

高速分光エリプソメーター　M-2000 シリーズ

J.A.Woollam Co., Inc. 製
M-2000シリーズは，全ての偏光状態で高精度な測定が可能な，最新の回転補償子型エリプソメーター（RCE: Rotating Compensator Ellipsometer）です．分光検出部には高感度CCD採用し，広い波長範囲の分光スペクトルデータを数秒で測定することができます．

特許RCE技術により，全偏光状態で高精度な測定を実現．
偏光解消，光学異方性，ミュラー行列などの高度な解析が可能．
高感度CCDの採用による全波長領域の高速同時測定．
サンプル縦置き / 横置き，in-situプロセス制御，自動マッピングなど，多彩な応用測定に対応．
解析ソフトウエアWVASE32の豊富な誘電関数モデル，洗練されたフィッティングアルゴリズムにより，多角的で精度の高いデータ解析が可能．

高速分光エリプソメーター　M-2000U

J.A.Woollam Co., Inc. 製
M-2000U は, 測定波長：245 nm ～ 1000 nmをカバーしており. 誘電体, ポリマー, 半導体, 金属などの広範なアプリケーションに対応可能です. 半導体の電子分極領域の測定が可能なことから, 半導体多層膜の解析, 化合物半導体混晶比の測定など, 高度な測定が行えます.

高速分光エリプソメーター　M-2000V

J.A.Woollam Co., Inc. 製
M-2000Vは, 測定波長：370 nm ～ 1000 nmに対応するQTHランプ光源を採用することで, コンパクトな光学系を実現しています. そのため, チャンバー搭載のIn-situ 測定などへ容易に発展できます. 誘電体やアモルファス半導体, ポリマーなどの可視領域の光学定数測定・膜厚測定に最適です.

高速分光エリプソメーター　M-2000D

J.A.Woollam Co., Inc. 製
M-2000Dは, 深紫外193 nmから1000 nmの波長範囲を, 500チャンネルのCCD検出器でカバーします. 短波長領域に拡張されているM-2000Dは, リソグラフィーの波長 (193 nm，248 nm，365 nm) における光学定数測定に対応でき, 極薄膜に感度があることから, 半導体分野の様々なアプリケーションに対応可能です.

高速分光エリプソメーター　M-2000F

J.A.Woollam Co., Inc. 製
集光ビーム仕様のM-2000Fは, 微小領域での測定が可能です. パターン付きのウエハー, ハードディスクのスライダーヘッド, 曲面や球面レンズ表面薄膜などのアプリケーションに対応できます.

集光スポットサイズ：25 μm x 60 μm ～ 175 μm x 420 μm
入射角：65°固定
高感度CCDの採用による全波長領域の高速同時測定．
顕微カメラ装備（サンプル上のスポットの確認用）
対応測定波長範囲：
380 nm ～ 1000 nm（M-2000VF，390波長）
245 nm ～ 1000 nm（M-2000UF，470波長）

膜厚測定，光学定数測定，複素屈折率・複素誘電率シミュレーションのテクノ･シナジー

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