膜厚測定,分光測定,分光エリプソメトリー,スペクトル解析のテクノ・シナジー

分光エリプソメーター

二重回転補償子型高速分光エリプソメーター RC2

二重回転補償子型高速分光エリプソメーター RC2
J.A.Woollam Co., Inc. 製
RC2は,革新的な新技術(広帯域アクロマート補償子を採用した二重回転補償子方式)と,インテリジェント光源,新開発CCD分光検出技術が高い次元で融合した次世代の分光エリプソメーターです.ミューラー行列全16成分の取得などの複雑な測定解析,広い波長領域における全スペクトル同時測定など幅広い用途でお使いいただけます.
  • 二重回転補償子技術によりミューラー行列全成分の取得が可能
  • 光学設計を大幅に刷新.全ての測定モードで最高精度を実現
  • 広い波長範囲(193~2500nm)を同時測定
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高速分光エリプソメーター M-2000 シリーズ

高速分光エリプソメーター M-2000 シリーズ
J.A.Woollam Co., Inc. 製
M-2000シリーズは,全ての偏光状態で高精度な測定が可能な,最新の回転補償子型エリプソメーター(RCE: Rotating Compensator Ellipsometer)です.分光検出部には高感度CCD採用し,広い波長範囲の分光スペクトルデータを数秒で測定することができます.
  • RCE(回転補償子型エリプソメーター)技術により高精度を実現
  • 全波長同時測定を可能にしたCCD 分光検出による高速測定
  • 広い波長範囲(193〜1690nm)を同時測定
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» 膜厚測定製品:高速分光エリプソメーター M2000 詳細を見る

水平自動入射角 M-2000

水平自動入射角 M-2000
J.A.Woollam Co., Inc. 製
水平自動入射角タイプは大面積マッピング,自動サンプルアライメント,溶液セルなどさまざまなオプションに対応可能です. 一般的な用途や大きなサンプルに最適です.

垂直自動入射角 M-2000

垂直自動入射角M-2000
J.A.Woollam Co., Inc. 製
垂直自動入射角は幅広い入射角の設定が可能であり,柔軟に反射・透過配置での測定ができるようにサンプルステージとディテクターの角度を独立して制御できます.

固定入射角 M-2000

高速分光エリプソメーター M-2000D
J.A.Woollam Co., Inc. 製
固定入射角のM-2000です. 50×50 mm ストロークの自動XYマッピングステージに対応しています.

集光専用 M-2000

高速分光エリプソメーター M-2000F
J.A.Woollam Co., Inc. 製
集光ビーム仕様のM-2000は, 最小スポットサイズ:25 x 60 µmでの微小領域測定が可能です. パターン付きのウエハー, ハードディスクのスライダーヘッド, 曲面や球面レンズ表面薄膜などのアプリケーションに対応できます.

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