膜厚測定,分光測定,分光エリプソメトリー,スペクトル解析のテクノ・シナジー

分光システム

顕微分光システム DF-1037シリーズ (特注対応)

DF-1037シリーズ(特注対応)
DF-1037シリーズは,ユーザーの高度な測定ニーズに合わせた特注顕微鏡システムの構築が可能です.高性能な分光システム,高機能な顕微鏡システム,高度なスペクトル解析ソフトウエアと,ご要求に合わせたメカ設計/光学設計をトータルに融合させることで,市販品の改造では得られないハイスペックと使い勝手を実現します.

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顕微PL分光システム DF-1037シリーズ (特注対応)

DF-1037シリーズ(特注対応)
DF-1037シリーズは,反射スペクトル測定,透過スペクトル測定はもちろん,フォトルミネッセンス(Photoluminescence)測定に対応します.UV-LED(波長:365nm)光源ユニットで励起し,390nmから可視光全域のフォトルミネッセンスを測定することができます.励起波長,発光測定波長領域などの仕様をご相談ください.最適な顕微PL分光システムを提案いたします.

紫外レーザー励起PL分光システム PL-325S (特注対応)

DF-1037シリーズ(特注対応)
PL-325Sは,HeCdレーザー(波長:325nm)を励起光源とした特注のフォトルミネッセンス(Photoluminescence)測定システムです.測定サンプル,励起波長,発光測定波長領域など,ご希望の仕様をご相談ください.最適なPL分光システムを提案いたします.

Cマウント接続顕微分光器 CM-50TS

Cマウント接続顕微分光器 CM-50TS
CM-50TSは,顕微鏡のCマウントに接続して使用するイメージング分光器で,CCDやCMOSなどの検出器(別売)と組み合わせて顕微イメージング分光システムを構築するることができます.回折格子とモニター用平面鏡を切り替えることで,分光測定とサンプルイメージ撮影が選択できます.集光系に収差補正カメラレンズ(焦点距離:50mm)を採用しているため,小型分光器ながら,高空間分解能,高波長分解能,かつ収差フリーなイメージング分光が可能です.
  • 光学配置:収差補正レンズZ型光学配置 (像倍率1:1)
  • 波長範囲: 300.9〜684.9nm(500nm中心)
  • 波長分散: 約0.2nm/pixel
※回折格子:600本/mm,検出器:6.5µm/pixel × 2048画素
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イメージング分光器 MK-300

イメージング分光器 MK300
分光計器株式会社製
非点収差を極限まで低減した収差補正型非球面光学系採用の高分解イメージング分光器です.出射結像面全域で歪みのないシャープな結像特性が得られるため,2次元検出器の性能を最大限に利用することができます.回折格子は最大3枚内蔵でき,回折格子の交換も簡単に行うことができます.回折格子の切り替え,波長移動などの制御はコンピュータで行います.
  • 焦点距離: 300mm
  • 明るさ: F/4.4
  • 波長範囲: 200~1000nm
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紫外用イメージング分光器 CLP-105UV

紫外用イメージング分光器 CLP-105UV
分光計器株式会社製
CLP-105UVは,結像光学系に紫外線撮影用収差補正カメラレンズを採用したイメージング分光器です.紫外から近赤外に渡る広い波長領域で優れた空間分解能・波長分解能を実現しました.画像観察用平面鏡を搭載しているので,スペクトル測定とサンプル画像観察を簡単に切換ることができます.プラズマ・燃焼・放電などのイメージング・ 発光スペクトル測定,顕微鏡に接続してのイメージング分光などに最適です.
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カメラレンズ分光器 CLP-400

カメラレンズ分光器 CLP-400
分光計器株式会社製
CLP-400は,F/2.8の明るさとシャープな結像性能を両立させた分光器です.CCD受光面に入射スリット像が忠実に結像されるため,バンドル型光ファイバーを用いた多点分光計測,2次元イメージ分光に最適です.焦点距離100mmのCLP-100から焦点距離400mmのCLP-400まで,ラインナップは4タイプです.
  • 焦点距離: 400mm
  • 明るさ: F/2.8
  • 波長範囲: 400nm~700nm
  • 同時測定波長幅: 約6nm
  • 波長分散: 約0.012nm/pixel
※回折格子: 2160本/mm,CCDの受光幅:0.016mm/chの場合

真空紫外ポリクロメータ KV-201P

真空紫外ポリクロメータ KV-201P
分光計器株式会社製
KV-201Pは,真空紫外域 (120 nm ~ 300 nm) における高速スペクトル測定が行える窒素パージタイプの分光器です.新設計収差補正型分光器により,従来の瀬谷波岡型分光器では実現できない高い波長分解が得られます.また,光学素子の真空紫外最適化設計も新規に行った結果,光量のアップ,迷光の低減に成功しました.エキシマランプや各種発光のスペクトルモニター,各種チャンバへの取り付けに最適な真空紫外ポリクロメータです.
  • 波長範囲: 120 ~ 300nm
  • 同時測定: 約20nm
  • 波長分解: 0.1nm(FWHM)
  • CCD 検出器: DV420(MgF2窓付,アンドール製)

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