膜厚測定システム
光学膜厚測定システム DF-1045シリーズ DF-1045R
| DF-1045Rは，シンプルな縦型光学ベンチを採用した光学膜厚測定システムです．柔軟性の高い測定光学系とスペクトルフィッティング解析ソフトウエアの連携により，様々な薄膜サンプルの膜厚/光学定数の測定が可能です． 光学ベンチは多彩な光学レイアウトに対応でき，目的に合わせたユニット構成でシステム提供いたします．高機能で柔軟性の高いスペクトル解析ソフトウエアSCOUTが，多層膜解析を始めとする様々な膜解析アプリケーションへの対応を可能にします． |
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光学膜厚測定システム DF-1045シリーズ DF-1045RT
| 光学膜厚測定システムDF-1045RTは，反射率測定，透過率測定を両立させた縦型光学ベンチを採用し，スペクトルフィッティング解析ソフトウエアSCOUTとの連携により，薄膜サンプルの膜厚/光学定数を簡便に測定することができる膜厚測定システムです．CCD分光器の採用により，小型軽量のハードウエア，高速スペクトル測定を実現しました．高機能で柔軟性の高いSCOUTを搭載しており，多層膜解析を始めとする様々な膜解析アプリケーションに対応します． |
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簡易反射ステージ SS-Rシリーズ
| 簡易反射ステージ SS-R シリーズは，ハロゲン光源，CCD 分光器，光ファイバーなどと組み合わせて， 簡便に反射率スペクトル測定を行うことができるシンプルなサンプルステージです.分光反射率測定に必要な機能に絞ること で，コンパクトでコストパフォーマンスの高いサンプルステージが実現しました.反射測定に反射プローブを用いる簡易タイプと広帯域光ファイバーコリメーターBBFC-03SMAを用いる高性能タイプが用意されています． |
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関連部品：可視領域の分光測定に最適設計
広帯域光ファイバーコリメーター BBFC-03SMA
広帯域光ファイバーコリメーター BBFC-03SMA
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顕微分光システム DF-1037シリーズ
| DF-1037シリーズは，高性能な分光システムと高機能な顕微鏡システムを高い次元で融合させた顕微分光システムです．DF-1037シリーズには，新設計コールドフィルターWECFの採用による広帯域分光測定，高解像度デジタル画像撮影，スペクトル解析ソフトウエアSCOUTなど，高度なご要求にお答えする充実した機能が搭載されています．また，ニコン製顕微鏡をビルドアップしているため，顕微鏡の機能や拡張性を損なうことなく顕微分光測定を行うことができます． |
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顕微鏡接続用CマウントCMOSカメラ
| ニコン製顕微鏡にCマウント接続して使用するCMOSカメラです．カメラには，マイクロフォーサーズ規格を採用．マイクロフォーサーズの記録対角長が視野数とほぼ等しいため，接眼で見たイメージ通りのデジタル画像撮影が行えます．顕微分光システムに組み込む場合，Y-QT 四眼鏡筒の光路切り替えにより，スペクトル測定とサンプル画像撮影を選択します． |
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顕微分光システム DF-1037シリーズ （特注対応）
| DF-1037シリーズは，ユーザーの高度な測定ニーズに合わせた特注顕微鏡システムの構築が可能です．高性能な分光システム，高機能な顕微鏡システム，高度なスペクトル解析ソフトウエアと，ご要求に合わせたメカ設計/光学設計をトータルに融合させることで，市販品の改造では得られないハイスペックと使い勝手を実現します． |
光学膜厚モニター DF-1040
| 光学膜厚モニターDF-1040Rは，成膜装置から薄膜試料を取り出すことなく，膜厚/光学定数を迅速に測定することができる膜厚モニタリングシステムです．小型CCD分光器の採用により，B5サイズのフットプリント，高速スペクトル測定を実現しました．成膜装置に最適な集光光学系の設計，被測定試料に合わせた光学モデル，ご希望の測定シークエンス，アウトプット形式に対応いたします． |
