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膜厚測定 製品ラインナップ
二重回転補償子型高速分光エリプソメーター RC2
RC2は，広帯域アクロマート補償子を採用した二重回転補償子方式という革新的な新技術とインテリジェント光源，新開発CCD 分光検出技術が高い次元で融合した次世代の分光エリプソメーターです．ミューラー行列全16 成分の取得などの複雑な測定解析，広い波長領域における全スペクトル同時測定など幅広い用途でお使いいただけます．
二重回転補償子型高速分光エリプソメーター RC2※測定のご要求，サンプル形状などに合わせたカスタマイズが可能です．
仕様詳細についてはお問い合わせください．
特 長
- 二重回転補償子技術によりミューラー行列全16 成分の取得が可能
- 光学設計を大幅に刷新．全ての測定モードで最高精度を実現
- 光学モジュール構成によりチャンバーへの取り付け，様々なステージに対応
- 紫外から近赤外領域にわたる広い波長範囲（193 〜 2500 nm）を同時測定
- 二重回転補償子，新開発CCD 分光検出により高速・高精度測定を実現
主な仕様
| 測定方式 | 二重回転補償子法（特許取得済み），CCD分光検出 |
| 測定パラメータ | 振幅強度比角（Ψ）、位相差（Δ） ※ミューラー行列16成分の取得が可能． |
| 測定範囲 | Ψ ＝ 0 ～ 90°，Δ ＝ 0 ～ 360° |
| 測定波長範囲 | 約193 nm ～ 2500 nm ※機種に依存（下記参照）． |
| 入射角 | サンプル水平 45° ～ 90°°，サンプル垂直 20° ～ 90° |
| データ取得時間 | 最速0.3秒（全波長のミューラー行列全16成分取得） |
RC2の測定波長範囲
回転補償子型高速分光エリプソメーター M-2000
M-2000 は，薄膜評価における多様な要求を満たすために設計された極めて汎用性の高い分光エリプソメーターです．特許RCE 技術と先進のCCD 分光検出技術によって，広い波長領域における全スペクトルの同時測定を実現し，高速測定と高精度測定を両立させました．
回転補償子型高速分光エリプソメーター M-2000※測定のご要求，サンプル形状などに合わせたカスタマイズが可能です．
仕様詳細についてはお問い合わせください．
特 長
- RCE（回転補償子型エリプソメーター）技術により高い精度と再現性を実現
- 全波長の同時測定を可能にしたCCD 分光検出による高速測定
- 紫外から近赤外領域にわたる広い波長範囲（193 〜 1690 nm）を同時測定
- 光学モジュール構成によりチャンバーへの取り付け，様々なステージに対応
主な仕様
| 測定方式 | 回転補償子法（特許取得済み），CCD分光検出 |
| 測定パラメータ | 振幅強度比角（Ψ）、位相差（Δ） |
| 測定範囲 | Ψ ＝ 0 ～ 90°，Δ ＝ 0 ～ 360° |
| 測定波長範囲 | 約193 nm ～ 1690 nm ※機種に依存（下記参照）． |
| 入射角 | サンプル水平 45° ～ 90°，サンプル垂直 20° ～ 90° |
| データ取得時間 | 0.5 ～ 5秒 |
M-2000の測定波長範囲
赤外域多入射角分光エリプソメーター IR-VASE Mark II
IR-VASE Mark IIは，FTIRが得意とする物質のキャラクタリゼーションと分光エリプソメトリーの高感度・高精度な薄膜解析を融合させた唯一の分光エリプソメーターです．波長1.7～30µm（333cm-1 〜 5900cm-1）の広い赤外領域で測定ができ，バイオテクノロジー，半導体，化学，光学，宇宙開発など分野を問わず，薄膜材料やバルク材料の強力な物性評価ツールとして力を発揮します．
赤外域多入射角分光エリプソメーター IR-VASE Mark II※測定のご要求，サンプル形状などに合わせたカスタマイズが可能です．
仕様詳細についてはお問い合わせください．
特 長
- 回転補償子法（特許）により全測定領域で高精度な膜厚，光学定数測定が可能
- 近赤外から遠赤外にわたる広い波長範囲1.7 ～ 30µmに対応
- FTIRの分子情報に分光エリプソメトリーの高精度・高感度な薄膜計測をプラス
- 大気中での非接触・非破壊測定．バイオや化学で重要な固液界面の評価が可能
主な仕様
| 測定方式 | 回転補償子法（特許取得済み），フーリエ分光法（FTIR） |
| 測定パラメータ | 振幅強度比角（Ψ）、位相差（Δ） |
| 測定範囲 | Ψ ＝ 0 ～ 90°，Δ ＝ 0 ～ 360° |
| 測定波長範囲 | 約1.7 ～ 30µm（333cm-1 〜 5900cm-1） |
| 波数分解能 | 1，2，4，8，16，32，64cm-1 |
| 入射角 | 32° ～ 90° |
| データ取得時間 | 1 ～ 30分（分解能16cm-1，1入射角の場合） |
